三坐标测量机的维护需要全方位的维护。作为三坐标测量机的关键部件，光栅尺也是一个非常精密的部件。维护是否合理直接影响三坐标测量机的精度和光栅尺的寿命。三坐标测量机光栅尺的具体维护和清洁方法请参考业内人士的建议。

1、光栅尺传感器与数显插座插拔时应关闭电源。

2、尽可能加装防护罩，及时清理飞溅在尺子上的切屑和油污，严防异物进入机壳内部。

3、定期检查各连接螺钉是否松动。

4、为延长防尘密封条的使用寿命，可在密封条上均匀涂上一层薄薄的硅油，注意不要溅到玻璃光栅的划线面上。

5、为保证光栅传感器的可靠性，光栅表面和指示光栅表面可以定期用乙醇混合物（各50%）清洗，以保持玻璃光栅表面清洁。

6、严禁剧烈振动、敲打光栅尺传感器，以免损坏光栅尺，如光栅尺折断，光栅尺传感器会失效。

7、不要自行拆卸光栅尺传感器，也不要随意改变主光栅和副光栅的相对距离，否则一方面可能会损坏光栅尺传感器的精度，而且在另一方面，可能会引起主光栅尺与副光栅尺之间的相对摩擦。镀铬层的损坏也会破坏网格线，从而导致光栅尺报废。

8、应注意防止光栅尺表面被油水污染，以免损坏光栅尺的线条纹分布，造成测量误差。

9、光栅传感器应尽量避免在腐蚀严重的环境中工作，以免腐蚀光栅的铬层和光栅表面，损坏光栅质量。

清洁三坐标测量机光栅尺，可用脱脂棉球蘸无水酒精，将棉球从光栅的一端擦到另一端，然后更换棉球，再用一个干净的棉球。棉球不能重复使用。 ，注意不要来回擦拭。擦拭过程中不要触碰读数头，也不要让棉球的纤维粘在光栅上。读数头的静电会吸引纤维，影响读数。三坐标测量机的光栅尺不宜频繁擦拭，每季度或半年擦拭一次即可。