要想了解手动测量仪器的测量精度，就要知道影像测量仪误差的来源。 在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量,测量时先对焦,后对准 ,在读数(计数) , 最后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠光学影像系统,还有一一个直 接影响测量效果和精度的照明光源,因为, 于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外,环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析,可以归纳-下几个方面的误差来源。
1 )光栅尺计数的误差;
2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;
3)工作台两测量轴垂直度带的误差;
4)镜头光轴与工作台不垂直带的误差;
5)测量环境温度变化带来的误差;
6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
在这几种因素中,前四项误差，是硬件误差 , 在影像测量仪制造过程中已经形成并固定下来,一般无法改变 ,温度影响带来的误差, 必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。最后一-项则常被忽视,而在实际测量中,当光源照明条件改变时,直接影响被测工件的照明效果和影像质量，要是因为影像测量仪的图像是通过CCD接收,尽管CCD具有自动调节增益的功能，但当亮度过大时即失去调节功能,导致被测工件影像在缩小,当亮度过低时,工件影像反而变大。
这种影响,对于测量具有重复图形结构之间的间距时,只要整个测量过程中照明条件保持不变, 其影响可以忽略,因为每个重复图形结构都同时在变大或者变小,间距的测量计算直接消除了影像变形的影响,如测量玻璃尺、网格板刻线间距;除了这种特殊情形外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度,都将带来明显的误差。