三维尺寸测量和形位公差的高精度测量的工具是三维影像测量仪。用于测量三维几何尺寸和形位公差的高精度测量仪器。它克服了传统投影仪和二维影像测量的不足，是集光学、机械、电子、计算机图像处理技术于一体的高精度、高效率、高可靠性的测量仪器。

根据操作模式分为三种类型：手动，电机驱动和CNC。
1、手动三维影像仪

操作员用手握住主轴使其沿轴线移动。测量时，要注意探头与工件之间的测量压力，以及由探头加速引起的轴弯曲引起的某些测量数据的误差。
2、电机驱动式三维影像仪

电动三维测量仪器通常由操纵杆控制。它具有测量精度高，操作简便，手动操作，可教学测量等优点。
3、CNC式三维影像仪

除了电机驱动功能外，CNC型三维测量仪还可以根据计算机的预设程序自动进行测量。即使是一些制造商生产的三维测量仪器也提供工件的自动装配和拆卸。除尺寸测量（点对点测量）外，CNC型三维测量仪还可用于轮廓测量（点对点测量和扫描测量）。

三维影像测量仪故障时，

故障现象
1、无法打开3D图像测量仪器软件;
2、3D图像测量仪无法找到原点或不能移动;
3、传输，面光源不亮;
4、主机和光栅尺以及数据转换盒接触不良，导致无数据显示;
5、蓝屏。
造成故障的原因
1、加密狗或图像测量仪器软件操作系统崩溃导致3D图像测量仪器损坏;
2、电源板损坏。
3、光栅尺或数据转换盒损坏;
4、三维影像测量仪的操作软件文件丢失或CCD视频线接触不良。

三维影像测量仪适用于以坐标测量为目的一切应用领域，广泛应用于机械、电子、仪表、五金、塑胶，模具，螺丝，金属配件、橡胶、PCB板、弹簧、塑料、航空航天，汽车等行业中，可以对工件的尺寸、形状和形位公差进行精密检测，从而完成零件检测、外形测量、过程控制等任务。

三维影像测量仪是三维尺寸测量比较好的仪器