在结构上
三次元测量仪主要由以下部分组成：1.机械系统2.探头系统3.电气控制硬件系统4.数据处理软件系统。探查器的结构：
探查器由花岗岩平板，工作台，传感器，驱动盒，显示器，计算机和打印机组成。测量时，可以选择被测部件的不同位置，可以设置各种测量长度进行自动测量，并可以评估段内的采样数据。多达几万点。并且可以显示或打印轮廓形状及其大小，各种粗糙度参数和轮廓支持长度速率曲线。
在使用方面，
三次元测量仪可以测量多种模具产品，电子产品，通讯，汽车等，已被广泛应用于航空航天，汽车，电子，模具等行业。它在工厂的使用确实非常广泛，但其价格也很昂贵。
轮廓仪测量各种精密机械零件的粗糙度和轮廓形状参数。使用拟合方法来测量弧线和直线。可以测量弧形半径，直线度，冠，槽中心距，倾角，垂直距离，水平距离和台阶等形状参数。该仪器还可以测试各种零件的表面粗糙度;可测试平面，斜面，外圆柱面，内孔面，深槽面，圆弧面和球面的粗糙度，实现各种参数测量。 。

通过观察可以发现，虽然误差很大，但由于速度测量速度慢，误差仍然很稳定，这是由于低速触发探头所需的大量时间造成的。
通过快速测量，探头在更短的时间内触发，探头的偏转明显减小。但是，通过快速测量，探头接触的力量会更大。这些将对待测原件以及振动和惯性效应产生更大的影响。实验结果表明，通过111毫米/秒的快速测量和83毫米/秒的中等进给速率，测试中某些仪器的测量误差最小。因此，建议用户在自己的三次元测量仪设置中进行测试，以确定最佳的测量速度。