在使用三次元测量仪过程中的错误统计中，大致有以下五个错误来源：
1.人为错误：在使用三次元测量仪的过程中，肯定需要人为的控制，但人们难免会有一些操作上的错误，特别是在使用手动坐标测量机时，因为测量过程需要人工手动移动，所以必然会有一些错误。而这个错误和操作者熟练程度会有很大的影响。
2.操作错误：使用测量仪器时，由于安装，调整，布置，使用错误的方法出错。
3.方法错误：由于三坐标理论的测量掌握不熟练，导致一些测量方法使用不当，也可能造成误差。
4.三坐标本身的错误：由于CMM本身及其附件的介绍，出于仪表电气或机械性能的不完善而导致错误。高瑞三坐标提示如：桥中的标准电阻，示波器的探针线等都包含错误。仪器，零点偏移仪，量程不准确，以及属于仪器误差造成的非线性误差。
5，恶劣的环境误差：湿度，温度，压力，声音，震动，光线，放射性等造成的误差。

1，精度高
毫无疑问，三次元测量仪设备拥有者比肉眼观察到的测量精度要高得多，目前设备已基本能够满足1μm测量精度要求，切割不同型号的产品以适应不同的环境，不同的精度需求的测量需求。如由Daisy系列和MGH系列的Edward三坐标测量机，其精度有所不同。
2，效率高
坐标测量机用于自动测量，对于大宗工件的测量，与传统的测量方法相比，提高了50-100倍的测量效率，是工件测量的革命性变化，传统的测量方法远远落后。
3，功能强大
对于传统的测量方法，测量表面测量，轮廓测量，复杂的几何部件测量等是困难的或不可能的。坐标测量机可以配备触发，扫描，光学或激光测量系统，并配备功能强大的测量软件（如AC-DIMS），以满足任何几何测量要求的几何。
4，种类繁多
从桥式坐标测量机（如Edward Daisy系列三次元测量仪）到龙门坐标测量机（如Edward Atlas系列坐标测量机）;从地板到地面测量系统到实验测量系统;从静止测量系统复合图像测量系统，便携式测量系统，坐标测量机可用于航空航天，汽车制造，轨道交通，医疗设备，运动器材，能源，电子，模具，机械制造，标准件制造，教育等。所有的行业，制造业。

CMM探头校准是测量过程中的重要部分，主要使用标准球进行探头校准，虽然红宝石是最常用的三次元测量仪校正球材料，但其他材料可能更适合于接触式扫描测量。在扫描测量中，三坐标测量机校正球沿工件表面滑动，会产生摩擦和磨损。在极端的情况下，这种长时间的接触可能导致CMM纠正从球上移除的球材料或粘附到CMM校正球上的工件材料。无论是哪种情况，都会影响CMM的校正球的圆度。当一个坐标测量机校正一个球和工件以保持与工件的恒定接触时，圆度误差会不断增加。